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測(cè)試項(xiàng)目：

UPS可以測(cè)試樣品功函數(shù)和價(jià)帶位置;

更多測(cè)試要求請(qǐng)咨詢客戶經(jīng)理。

樣品要求：

1.樣品狀態(tài)：薄膜，樣品平面尺寸一般要求5*5mm，最大不超過(guò)8*8mm，可以為正方形或者長(zhǎng)方形，厚度最好不要超過(guò)1mm，樣品要求具有一定導(dǎo)電性。

2.粉體樣品需要制備為薄膜，具體制備方法及要求如下：先把粉末樣品分散在水或乙醇里(濃度盡量低點(diǎn))，滴在硅片上烘干，可以多循環(huán)幾次，一定要保證膜表面盡量平整、均勻、連續(xù)、整潔，硅片尺寸5*5mm-5*8mm，厚度幾百μm，涂完膜干燥后膜層以完全覆蓋住硅片即可(膜層厚度10-50nm即可)，膜層的電阻最好小于10兆歐，最大不能超過(guò)30兆歐。

常見(jiàn)問(wèn)題及回答：

1、測(cè)試結(jié)果為什么跟文獻(xiàn)或者預(yù)期有偏差?

第一，由于UPS測(cè)量中光激發(fā)電子的動(dòng)能在0-20eV范圍，在此能量區(qū)間的電子逃逸深度較小，且隨能量急劇變化，材料表面的導(dǎo)電性、污染程度和粗糙度等因素會(huì)對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生較大影響，輕則導(dǎo)致譜圖的峰位移動(dòng)和峰形變化，重則導(dǎo)致無(wú)信號(hào)。UPS適用于分析表面均勻潔凈的導(dǎo)體以及導(dǎo)電性較好的半導(dǎo)體薄膜材料。對(duì)于合成的粉末樣品，影響因素較多，UPS測(cè)試存在一定風(fēng)險(xiǎn) ; 第二，UPS測(cè)試過(guò)程中，紫外光的掃描范圍僅為樣品中的某個(gè)微小區(qū)域，如果樣品制備不均勻，或者測(cè)試區(qū)域恰好條件不佳，也可能會(huì)影響測(cè)試結(jié)果;

2、測(cè)試?yán)蠋熃o出的數(shù)據(jù)分析結(jié)果準(zhǔn)確嗎，是否可以調(diào)整?

測(cè)試?yán)蠋熃o出的只是分析結(jié)果僅供參考，因?yàn)闇y(cè)試?yán)蠋煵恢烂總€(gè)樣品具體是什么材料，只能根據(jù)自己的習(xí)慣和經(jīng)驗(yàn)大致作圖分析，所以我們一般還需要根據(jù)對(duì)樣品性質(zhì)的了解，對(duì)數(shù)據(jù)分析結(jié)果微調(diào)甚至大的調(diào)整。

結(jié)果展示：

測(cè)試結(jié)果一般給出的是excel格式原始數(shù)據(jù)，可以提供教程自行作圖分析。